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簡析用于直線電機晶圓切片的高精度激光加工

文章來源：東莞希思克傳動科技有限公司    發(fā)布日期：2022-12-17    瀏覽：337次

制造芯片和微芯片涉及使用稱為晶圓切片的工藝將晶圓切割成小方塊或矩形“芯片”或“晶?！?。直線電機晶圓切片應(yīng)用中需要考慮的典型挑戰(zhàn)包括：準確定位切口。較大限度地減少材料損耗和較大限度地減少元件變形。同時，直線電機必須達到最大可能的加工速度。隨著要求的不斷提高，激光劃片已成為首選的劃片技術(shù)。這種非接觸式激光工藝很靈活，可避免切削刃處的破損。借助于各種自動后加工工藝，可以進一步改善邊緣的良好質(zhì)量，這也是抗裂性的決定性因素之一。這顯著減少了生產(chǎn)浪費，因此節(jié)省了生產(chǎn)成本。相應(yīng)地，直線電機激光劃片工藝同樣需要在高速下提供高精度和高直線度的運動系統(tǒng)。

該運動解決方案的主要特點：

1. 直接驅(qū)動帶有空氣軸承的線性和旋轉(zhuǎn)平臺，可實現(xiàn)極限精度；

2. 高直線度、平面度和重復(fù)精度；

3. 消除齒槽效應(yīng)，實現(xiàn)平穩(wěn)的速度控制；

4. 拖鏈電纜管理

5. 在晶圓工作點提供計量；

6. 全天候以高占空比運行；

7. 絕對編碼器消除了參考，同時提高了運行期間的效率和安全性。

系統(tǒng)由旋轉(zhuǎn)軸、掃描軸和運動控制所組成。

（1）旋轉(zhuǎn)軸用于晶圓的定位和校正：

A、空氣軸承轉(zhuǎn)臺

B、直接驅(qū)動無齒槽效應(yīng)運動

C、優(yōu)異的運動精度、平面度和擺動性能

D、高剛性和高負載能力

E、無塵室兼容

F、帶空氣軸承的A-623Plglide轉(zhuǎn)臺。

（2）掃描軸：

A、XY平面空氣軸承平臺

B、高速度和高加速度

C、優(yōu)異的幾何性能

D、分辨率達1納米

E、適合于有限安裝空間的低剖面

F、無塵室兼容

G、帶空氣軸承的A-311Plglide平面掃描儀。

（3）直線電機運動控制：

高性能EtherCAT運動控制器采用19英寸機架，集成了驅(qū)動器、電源和功能安全性。

A、A-814Plglide運動控制器

B、NanPWM驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)納米級跟蹤誤差和較佳速度NanoPWM驅(qū)動器

C、先進的伺服控制算法

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