直驅(qū)是指直接驅(qū)動,是新型的電機(jī)直接和運(yùn)動執(zhí)行部分結(jié)合,即電機(jī)直接驅(qū)動機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn),沒有中間的機(jī)械環(huán)節(jié),相對常規(guī)驅(qū)動技術(shù)他使控制環(huán)節(jié)可獲得極高增益,其反饋亦是檢測最終的位置避免了傳動環(huán)節(jié)的耦合誤差和擾動,具有靜態(tài)精度高動態(tài)性能好的優(yōu)勢。直接驅(qū)動技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是摩擦小、維護(hù)工作量小和生產(chǎn)效率高。
典型的直接驅(qū)動技術(shù)的應(yīng)用包括,以直線電機(jī)為核心驅(qū)動元件的直接運(yùn)動部件和以力矩電機(jī)為核心驅(qū)動元件的回轉(zhuǎn)運(yùn)動元件(引自百度詞條)。直驅(qū)的核心包括驅(qū)動部分和位置反饋(感知)部分,驅(qū)動部分/執(zhí)行部分包括動子、定子、線圈等,位置反饋感知部分包括磁柵、光柵、容柵等,結(jié)構(gòu)可以是線性測量的,也可以是角度測量的。
一個完整的直驅(qū)部件,包括執(zhí)行部分(線圈、磁鋼、壓電瓷片等)、位置反饋部分和驅(qū)動部分(驅(qū)動器),首先需要了解伺服驅(qū)動器如何使用位置反饋數(shù)據(jù)。
在伺服驅(qū)動器里(直線電機(jī)或普通伺服電機(jī)),光柵尺數(shù)據(jù)分別去往電流環(huán),速度環(huán)、3部分,在電流環(huán)里編碼器數(shù)據(jù)被用來確認(rèn)動子和定子的相對位置確認(rèn)磁場施加的正確位置,通常電流環(huán)的pwm發(fā)生器是10位分辨率即可,通常的只想電機(jī)磁截距20毫米以上,因此電流環(huán)只要滿足在20毫米的范圍內(nèi)能夠有10位的有效分辨率就好了,折合電流環(huán)需要的分辨率約20000/1000=20微米,保守下10微米就夠了。在速度環(huán)中,編碼器數(shù)據(jù)用來確認(rèn)當(dāng)前動定子的相對速度,通常電流環(huán)頻率是每秒10k次或更低,速度環(huán)是電流環(huán)的四分之一(2.5k)或一半(5k),在每次速度閉環(huán)中必需保證能夠有效的得到足夠多的數(shù)據(jù)(至少能夠得到1個數(shù)據(jù))才能保證速度環(huán)的PI輸出是穩(wěn)定的,如果用1微米的分辨率,那么最低速度是2.5mm/s,低于這個速度將導(dǎo)致運(yùn)行的不平順(電流環(huán)比例積分波動巨大),這是極限情況,通常速度環(huán)周期需要更多的脈沖來滿足速度的平順度,通常需要直線電機(jī)位置環(huán)的定位精度是微米級,因此位置環(huán)一般微米級就夠了,通常位置環(huán)的需要的分辨率是需要的重復(fù)定位精度的2-5倍,如果重復(fù)是2微米,那么位置環(huán)的光柵尺分辨率要1微米或0.5微米。對于只需要最終定位的應(yīng)用場合,不考慮中間的運(yùn)行平穩(wěn)的場合(機(jī)床加工、3D打印、線切割),就需要很高的分辨率,保證刀具的壽命,加工的表面效果。
磁柵魯棒性好抗污染能力強(qiáng)行程大但是精度、分辨率和細(xì)分誤差要比光柵要差,光柵的抗污染弱項(xiàng)。
對精度要求較高而且控制的中間狀態(tài)也很平穩(wěn)的場合,例如:半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)和測量設(shè)備、PCB電路板組裝機(jī)、高精度機(jī)床、3D打印、線切割以及測量機(jī)等應(yīng)用只有光柵和個別高性能磁柵可以勝任。
對于超精密的應(yīng)用,如精密半導(dǎo)體加工只有衍射光柵可以勝任。
對抗污染要求高的場合,如機(jī)器人抓取、送料等可選用磁柵和低成本光柵。
對抗沖擊要求高的場合,優(yōu)先考慮磁柵和鋼帶柵尺的開放式光柵尺。
對不允許使用鐵磁材料的場合,如用于檢測微電子電路的電子束顯微鏡應(yīng)用上只能選擇光柵。
對成本要求高的場合,優(yōu)先考慮使用磁柵。
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